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芯片廠怎么選擇空氣過濾器搭配使用

作者:捷霖凈化發布時間:2020-11-24 16:36:12
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由于目前的國際環境,國際大力倡導芯片的自主化,預計在未來幾年,將需要數億元的高效過濾器和精密過濾器。而半導體廠對于生產環境空氣的潔凈度是十分挑剔的,因此對于空氣過濾器的要求也是十分苛刻。

芯片廠空氣過濾器

1、芯片廠10級、1級潔凈車間

主過濾器效率:ULPA超高效過濾器

常見過濾元件:無隔板ULPA超高效過濾器

特殊要求:掃描檢驗,流速均勻,無揮發物

作用:當今對性能要求最高的空氣過濾器

2、芯片廠10級、1級潔凈廠房預過濾器

主過濾器效率:HEPA高效過濾器

常見過濾元件:無隔板高效過濾器、有隔板高效過濾器

特殊要求:迎面風速高

作用:保證末端過濾工器的使用壽命

從以上可以看出,芯片廠空氣過濾要求十分的嚴格,潔凈度要求非常高,因此必須搭配初效、中效和高效空氣過濾器使用,并且在一些要求特別的環境中還需要搭配超高效過濾器。因此我們芯片廠在選擇空氣過濾器的時候,主要是根據自己的需求進行設計通風,再選擇不同過濾級別的空氣過濾器進行搭配使用,達到生產芯片的環境要求。

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